StudiumLabore und Seminare
Labor Halbleitertechnologie

Labor Halbleitertechnologie (Wintersemester 2021/2022)

Das Labor wird im Wintersemester 2021/22 angeboten. Die Teilnehmer werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte kennen lernen und zum größten Teil selbst ausführen. Die von den Teilnehmern hergestellten Halbleiterbauelemente werden elektrisch charakterisiert. Kenntnisse aus den Vorlesungen Halbleitertechnologie und Grundlagen der Halbleiterbauelemente sind Voraussetzung für die Teilnahme an dem Labor. Die Kenntnisse sind zu Beginn des Labors in einem schriftlichen Test nachzuweisen.

Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums © LNQE 2015

INHALT

  • Nasschemische Reinigung
  • Thermische Oxidation
  • Fotolithografie
  • Ionenimplantation
  • Rapid thermal annealing (RTA)
  • Nasschemische Strukturierung
  • Metallisierung
  • elektrische Charakterisierung

ABLAUFPLANUNG

Das Labor wird als Blockveranstaltung im Januar 2022 durchgeführt.

Weitere Informationen erhalten Sie an dieser Stelle zu Beginn des Wintersemesters 2021/22.

Termin Vorbesprechung

Für das Labor Halbleitertechnologie wird es eine Vorbesprechung geben. Der Termin wird zu Beginn des Semesters hier bekannt gegeben.


KONTAKTPERSONEN

Dozent

H. J. Osten
Prof.
H. J. Osten
Prof.

Betreuer

J. Krügener
Dr.-Ing.
J. Krügener
Dr.-Ing.

Betreuer

O. Kerker
Dipl.-Ing.
O. Kerker
Dipl.-Ing.

Betreuerin

H. Genath
M. Sc.
H. Genath
M. Sc.

Das Laborskript und die Laborordnung des LNQE sind im Stud.IP zu finden.