Halbleitertechnologie (Wintersemester 2023/2024)

Diese Vorlesung vermittelt Grundkenntnisse der Prozesstechnologie für die Herstellung von integrierten Halbleiterbauelementen der Mikroelektronik. Dabei liegt der Schwerpunkt auf den einzelnen Prozessschritten, die zur Chip-Herstellung notwendig sind, sowie den verwendeten Materialien und Techniken. Kenntnisse aus der Vorlesung Grundlagen der Halbleiterbauelemente (Grundlagenstudium) sind hilfreich. Sie bildet somit die Grundlage für die Technologie integrierter Bauelemente, die im Sommersemester gelesen wird und sich mit dem Zusammenspiel der einzelnen Prozessschritte bei der Chipherstellung beschäftigt. Weiterführende Lehrveranstaltungen sind: Bipolarbauelemente, MOS-Transistoren und Speicher sowie das Oberstufenlabor Halbleitertechnologie.

TEM Querschnittsaufnahme einer resonanten Tunneldiode TEM Querschnittsaufnahme einer resonanten Tunneldiode TEM Querschnittsaufnahme einer resonanten Tunneldiode © MBE 2020

Inhalt

  • Technologietrends, Prozessabläufe
  • Wafer-Herstellung
  • Dotieren, Diffusion, Ofenprozesse
  • Ionenimplantation
  • Thermische Oxidation
  • Schichtherstellung mit Atomlagengenauigkeit
  • Strukturübertragung (Lithografie)
  • Back-End-of-Line (Kontaktieren, Verdrahten, Planarisieren)
  • Nasschemie
  • Ätzen
  • in line Metrologie
  • Analytik
  • Packaging (Testen, Teilen, Bonden, Einhäusen)

Termine und Unterlagen

Beginn Vorlesung: 12.10.2023

09:15 - 10:45 Uhr

im Raum 3702-031 e-Classroom eNIFE

Beginn Übung: 01.11.2023 (14- täglich)

08:45 - 10:15 Uhr

im Raum 3702-031 e-Classroom eNIFE

Prüfungstermine Wintersemester 2023/2024

Die Prüfung Halbleitertechnologie wird in diesem Semester am 01.03.2024 als Online-Prüfung im E-Prüfungsilias (https://epruefungen.uni-hannover.de) stattfinden. Die Zugangsdaten werden in der Stud.IP-Veranstaltung als Ankündigung zeitnah vor der Prüfung bekannt gegeben.


Um an der Prüfung teilnehmen zu können, müssen Sie sich beim Prüfungsamt online dazu anmelden. Bitte beachten Sie den Anmeldezeitraum, der für Ihren Studiengang verbindlich ist. Nachträgliche Anmeldungen sind nicht möglich.

Die Vorlesungs- und Übungsunterlagen sind im Stud.IP zu finden.

Kontaktpersonen

Vorlesung

Dr.-Ing. Jan Krügener
Wissenschaftliche Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter
Oberingenieur
Adresse
Schneiderberg 32
30167 Hannover
Gebäude
Raum
140
Adresse
Schneiderberg 32
30167 Hannover
Gebäude
Raum
140

Übung

Hannah Naomi Genath, M. Sc.
Wissenschaftliche Mitarbeiterinnen und Mitarbeiter