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Grundlagen der Epitaxie (Wintersemester 2019/2020)

Prof. Fissel

Die Vorlesung Grundlagen der Epitaxie richtet sich an Studenten im Hauptstudium und Doktoranden der Fachrichtungen Elektrotechnik und Physik (Wahlvorlesung). Sie dient als Ergänzung bzw. Weiterführung der Vorlesung Halbleitertechnologie.
Im Studiengang Nanotechnologie wird diese Vorlesung im Wahlkompetenzfeld 4: Materialphysik angeboten.

Inhalt

  • Grundlagen der Epitaxie
  • Reale und ideale Oberflächen
  • Analyseverfahren
  • Mechanismen der Schichtbildung
  • Verfahren und Methodender Epitaxie
  • Defekte in Epitaxieschichten
  • Selbstorganisation und Epitaxie von Nanostrukturen

Vorlesung

Beginn: 22.10.2019

Zeit: Dienstag 10:15 - 11:45 Uhr

Ort:  Seminarraum des MBE (1. OG, Raum 151), Gebäude 3702, Schneiderberg 32

Übung

Zeit: Donnerstag 14:00 - 15:30 Uhr, 14-täglich

Ort: Seminarraum des MBE (1. OG, Raum 151), Gebäude 3702, Schneiderberg 32

Vorlesungsunterlagen

Weitere Informationen finden Sie im Stud.IP

Prüfungstermine

Nach Absprache mit dem Dozenten.