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Oberstufenlabor Halbleitertechnologie (Wintersemester 2019/2020)

Prof. Osten, mit wiss. Mitarbeitern

Das Labor wird im Wintersemester 2019/20 angeboten. Die Teilnehmer werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte kennen lernen und zum größten Teil selbst ausführen. Die von den Teilnehmern hergestellten Halbleiterbauelemente werden elektrisch charakterisiert. Kenntnisse aus den Vorlesungen Halbleitertechnologie und Grundlagen der Halbleiterbauelemente sind Voraussetzung für die Teilnahme an dem Labor. Die Kenntnisse sind zu Beginn des Labors in einem schriftlichen Test nachzuweisen.

Inhalt

  • Nasschemische Reinigung
  • Thermische Oxidation
  • Fotolithografie
  • Ionenimplantation
  • Rapid thermal annealing (RTA)
  • Nasschemische Strukturierung
  • Metallisierung
  • elektrische Charakterisierung

Ablaufplanung

Das Labor wird als Blockveranstaltung im Januar 2020 durchgeführt.

Interessenten für das Labor tragen sich bitte bis zum 08.11.2019 in die Veranstaltung im Stud.IP ein. Für Studierende der Fakultät für Elektrotechnik gilt die zentrale Laborplatzvergabe. Die Anzahl der Laborplätze ist aufgrund des hohen Betreuungsaufwands und der vorhandenen Reinraumarbeitsplätze beschränkt.

Teilnehmer aus Diplom- oder Bachelorstudiengängen müssen mindestens 100 CP bereits erbracht haben. Falls sich mehr Interessenten anmelden als Plätze zur Verfügung stehen, haben Studierende, für die das Labor eine Pflicht oder Wahlpflichtveranstaltung ist Vorrang. Die Reihenfolge des Eintragens in die ausliegende Liste ist unerheblich.

Eine Vorbesprechung findet am 19.11.2019 um 15:15 Uhr im Seminarraum des LNQEs (Schneiderberg 39) statt. Die Teilnahme und das Bestehen am Vortestat (Termin wird während der Vorbesprechung bekannt gegeben) ist Voraussetzung für die Teilnahme am Labor.

Das Laborskript und die Laborordnung des LNQEs finden Sie nach der Vorbesprechung im Stud.IP.

Betreuer