Labor Halbleitertechnologie (Wintersemester 2023/2024)

Das Labor wird im Wintersemester 2023/24 angeboten. Die teilnehmenden Personen werden in dem Labor alle zur Herstellung einer integrierten Schaltung notwendigen Prozessschritte kennen lernen und zum größten Teil selbst ausführen. Die von den teilnehmenden Personen hergestellten Halbleiterbauelemente werden elektrisch charakterisiert. Kenntnisse aus den Vorlesungen Halbleitertechnologie und Grundlagen der Halbleiterbauelemente sind Voraussetzung für die Teilnahme an dem Labor. Die Kenntnisse sind zu Beginn des Labors in einem schriftlichen Test nachzuweisen.

Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums Blick in den Gleblichtbereich eines Reinraums © LNQE 2015

Inhalt

  • Nasschemische Reinigung
  • Thermische Oxidation
  • Fotolithografie
  • Ionenimplantation
  • Rapid thermal annealing (RTA)
  • Nasschemische Strukturierung
  • Metallisierung
  • elektrische Charakterisierung

Ablaufplanung (Update 04.09.23)

In diesem Semester gibt es eine Änderung im Ablauf in Bezug auf die Zulassung zum Labor. In diesem Semester findet die Zulassungsprüfung für das Labor bereits am 06.10.2023 um 11 Uhr in Raum F303 im Hauptgebäude statt. Alle für das Testat notwendigen Informationen finden Sie im Laborskript, das in der Stud.IP-Veranstaltung des Labors unter "Dateien" zur Verfügung steht. Weitere Informationen zum Ablauf des Labors sind in der, ebenfalls im Stud.IP hinterlegen, Informationspäsentation zusammengefasst. Die Prüfung beinhaltet Fragen rund um das Halbleiterlabor.
Um zum Labor zugelassen zu werden, müssen Sie mindestens die Hälfte der Fragen richtig beantworten. Sollten mehr Personen diese Bedingung erfüllen, werden die Personen mit den höchsten Punktzahlen für das Labor zugelassen.

Sollten Sie Fragen zur Prüfung haben, kontaktieren Sie bitte mich zeitnah im Vorfeld.

Weitere Informationen zum eigentlichen Laborablauf werden in einer Informationsveranstaltung bekannt gegeben, die im Dezember stattfinden wird.

Termin Vorbesprechung

Für das Labor Halbleitertechnologie wird es eine Vorbesprechung geben. Der Termin wird zu Beginn des Semesters hier bekannt gegeben.


Kontaktpersonen

Dozent

J. Krügener
Dr.-Ing.
J. Krügener
Dr.-Ing.

Betreuer

J. Krügener
Dr.-Ing.
J. Krügener
Dr.-Ing.

Betreuer

O. Kerker
Dipl.-Ing.
O. Kerker
Dipl.-Ing.

Betreuerin

H. Genath
M. Sc.
H. Genath
M. Sc.

Das Laborskript und die Laborordnung des LNQE sind im Stud.IP zu finden.